Masterflex® L/S® 및 I/P® 공정 펌프를 ISO 5등급 (100 등급) 클린룸에 사용하기

개요

수많은 산업 분야의 제조 공정이 공정 및 생산된 제품이 이물질로 오염되지 않도록 보호하기 위해 점점 더 엄격한 규제 요구 사항이 제정됨에 따라서 전 세계의 기업들은 클린룸 기술을 사용해 제품 생산을 촉진하려 하고 있습니다. 클린 룸 안에서는 공기 중 입자의 크기와 수가 엄격하게 통제됩니다. 클린룸 환경에 포함되어 있는 인력과 장비가 공간 내부의 입자 수를 유의미하게 증가시키지 않도록 완화하는 조치를 취해야 합니다. 클린룸을 성공적으로 적용하기 위해서는 반드시 클린룸 내부에서 사용하는 모든 장비를 해당 환경에서 사용할 수 있다고 테스트 및 승인을 받아야 합니다. Masterflex L/S 및 Masterflex I/P 공정 펌프가 최근 이 평가를 받아 클린룸 환경에서 사용하기 위한 조건을 만족하거나 그 이상을 달성했다고 증명되었습니다.

검사 과정 요약

우리는 최근 ISO Class 5(Class 100) 클린룸 조건에서 Masterflex L/S 및 Masterflex I/P 공정 펌프를 사용할 수 있도록 인증을 받기 위해 독립적인 검사기관(Acorn Industries, Inc., 소장 Dr. Philip R. Austin)에 해당 펌프를 제출했습니다. 인증을 획득하기 위해 각 펌프는 여러 시험 단계로 이루어진 엄격한 평가 프로세스를 거쳐야 했습니다.

검사의 초점은 주로 각 펌프의 재료 박리를 평가하는 것에 중점이 맞춰져 있었습니다. 초순도 분광 등급 알코올로 펌프를 완전히 세척한 이후, 펌프 외부 표면의 임의의 위치를 ​​분광 등급 알코올로 다시 세척했습니다. 멤브레인 필터를 사용하여 표면에서 용매와 함께 수집된 입자를 제거했습니다. 필터 총 10세트에 100시간에 걸쳐 12회 간격으로 샘플을 수집했으며, 입자 부하를 분석했습니다. 멤브레인 샘플 외에도 펌프 헤드에 대해 상대적인 서로 다른 위치에서 연속적인 자동 공기 중 입자 계수기를 사용했습니다. 검사 시간인 100시간 동안, 매 10시간마다 입자 계수기의 데이터를 검토하고 리셋했습니다. 두 펌프에서 얻은 결과는 펌프 표면에서 기본 물질의 방출이 없다는 것을 보여주었습니다.

연구의 결론

평가를 위해 제출된 Masterflex L/S 및 I/P 공정 펌프는 연방 표준 209E에 따른 100 등급 클린룸 조건과 ISO 14644-1에 따른 5등급 클린룸 조건에서 "사용 가능"하다고 성공적으로 인증받았습니다. 클린룸 환경에 대해 전 세계적으로 사용되는 표준을 집필한 수석 연구원인 Dr. Philip R. Austin은 다음과 같은 점을 지적했습니다.

  • 검사 실험실에서 얻은 결과를 얻기 위해서는 클린룸 조건에서 사용하기 전에 테스트 공정에서 사용된 것과 같은 초순도 분광 등급 알코올로 펌프를 반드시 완전히 세척해야 합니다.
  • 검사한 두 펌프 시스템이 모두 연동 펌프 시스템이었기 때문에 위와 같이 하드웨어를 세척하고 준비하며, 이와 더불어 배관 또한 클린룸 환경의 요구 사항을 준수하도록 세척 과정을 거쳐야 합니다. 권장되는 배관 청소 과정은 다음과 같습니다.
    1. 비이온성 세제/계면활성제에 배관을 2시간 동안 담급니다. 이 과정을 통해 배관 표면에 붙어 있는 입자의 표면장력이 깨집니다.
    2. 사용하기 전에 10 MOhm 탈염수로 세제/계면활성제를 완전히 헹구어 내 배관 표면에 남아 있는 입자를 전부 제거합니다.

이러한 세척 및 준비 단계를 시행하면 Masterflex L/S 및 Masterflex I/P 공정 펌프는 적절하게 준비된 배관과 결합한다는 가정 하에 ISO 5등급(100 등급) 클린룸 조건에서 안전하게 사용할 수 있습니다.


Masterflex L/S 및 I/P 공정 펌프에 대한 자세한 내용과 적용 분야에 가장 적합한 배관을 선택하는 데에 도움이 필요한 경우, 해당 지역 담당자에게 문의하십시오.